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等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿(mǎn)足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光,故稱(chēng)之為輝光放電處理。
深圳市普拉斯瑪自動(dòng)化設(shè)備有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事等離子表面處理設(shè)備的研發(fā),生產(chǎn),銷(xiāo)售為一體的高科技企業(yè)。公司依托自身在等離子表面處理設(shè)備制造業(yè)十多年的經(jīng)驗(yàn)以及同國(guó)際知名等離子相關(guān)配件廠(chǎng)商的良好合作,設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出BP-880系列真空等離子表面處理設(shè)備,產(chǎn)品質(zhì)量和表面處理效果完全可以替代進(jìn)口,一舉打破了同類(lèi)產(chǎn)品以前完全依賴(lài)美,日,德等國(guó)家和臺(tái)灣地區(qū)進(jìn)口的局面,高品質(zhì)與高性?xún)r(jià)比的設(shè)備以及高效的售后服務(wù),贏得國(guó)內(nèi)LED及IC封裝廠(chǎng)商的一致好評(píng)與青睞,目前穩(wěn)居同行業(yè)市場(chǎng)占有率第一。