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1、真空等離子技術(shù)
這些等離子體在密閉的真空中產(chǎn)生(10 -3到10–9 bar)。與常壓條件下相比，每個(gè)單位體積中的微粒數(shù)較少，這樣就增加了粒子自由程長(zhǎng)度，并相對(duì)減少了碰撞過(guò)程。因此，等離子體能量削弱的傾向減弱，可在空間內(nèi)更廣泛地傳播。要制造真空腔體，需要使用功能強(qiáng)大的氣泵。真空等離子技術(shù)不具備在線聯(lián)動(dòng)功能。
2、高壓等離子技術(shù)
高壓等離子體由特殊的氣體放電管產(chǎn)生。這種等離子體對(duì)于表面處理來(lái)說(shuō)并不重要。
3、電暈處理技術(shù)
電暈處理是一種使用高電壓的物理工藝，主要用于薄膜處理。電暈預(yù)處理的缺點(diǎn)是，表面活化能力相對(duì)較低，而且處理之后的表面效果有時(shí)不夠均勻。薄膜的反面也會(huì)被處理，有時(shí)這是工藝要求需要避免的。而且，經(jīng)由電暈處理得到的表面張力無(wú)法維持長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性，經(jīng)過(guò)處理的產(chǎn)品往往只能存放有限的時(shí)間。
常壓等離之處理技術(shù):常壓等離子是在大氣壓條件下產(chǎn)生的。常壓等離子處理技術(shù)的成本低、性能好，因而作為真空等離子和電暈工藝的工藝替代和工藝提升，獲得了廣泛的應(yīng)用。常壓等離子技術(shù)的一大優(yōu)勢(shì)，在于其在線集成能力。作為一項(xiàng)工藝準(zhǔn)則，這種技術(shù)能夠順利集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)系統(tǒng)中。
