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等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、涂覆、光刻膠灰化等目的。
等離子清洗機(jī)，大部分人可能會(huì)感覺很陌生。事實(shí)上，等離子清洗機(jī)通過對(duì)樣品表面進(jìn)行改性（親水性），同時(shí)除掉表面有機(jī)物，使多種材料之間能夠進(jìn)行貼合、涂覆、鍍膜等工藝操作。從研究開發(fā)到工藝生產(chǎn)使用，從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì)效果都非常好，應(yīng)用廣泛。
等離子清洗機(jī)的原理是什么？
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
1、常壓（大氣等離子清洗機(jī)）給它接入氣體與能量，氣體壓力達(dá)到0.2mpa左右、與足夠的能量，通俗來講就是高頻高壓產(chǎn)生等離子體。再通過等離體子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，以達(dá)到清洗目的。優(yōu)點(diǎn)：（大氣型快速量產(chǎn)）
2、（真空等離子清洗機(jī)）原理也是一樣的，在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品面，以達(dá)到清洗目的。優(yōu)點(diǎn)：（真空型精密全面）
