氣體流量是部分大氣等離子清洗機(jī)和真空等離子清洗機(jī)處理效果是否穩(wěn)定的重要技術(shù)參數(shù)，不同類型的等離子清洗機(jī)、使用不同的工藝氣體，對于氣體流量控制器的選擇會有所不同。我們總結(jié)了一些氣體流量控制器選擇的小貼士，現(xiàn)分享給大家。

1 大氣等離子清洗機(jī)的流量控制器選擇根據(jù)放電形式不同，大氣等離子清洗機(jī)放電所需氣體條件也是有講究的。常見的射流型和射頻型大氣等離子清洗機(jī)，應(yīng)該通入符合一定壓力和流量要求的壓縮空氣（CDA），才會產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，以保證設(shè)備的正常運行。通常的流量控制方式是以調(diào)壓閥和手動浮子流量計配合的方式來保證工作氣壓和氣流的穩(wěn)定。

大氣等離子清洗機(jī)

建議選用帶有流量控制器的專用氣源來為其提供穩(wěn)定的工作氣體。此裝置最大的優(yōu)點是攜帶方便、氣源干燥清潔、壓力和流量持續(xù)穩(wěn)定。

2 真空等離子清洗機(jī)的流量控制器選擇

工藝氣體流量的穩(wěn)定性，會影響工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)的處理效果，大多數(shù)工藝都對氣體流量控制要求非常嚴(yán)格，所以工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)都是選用質(zhì)量流量控制器來實現(xiàn)對工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)實際使用過程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器，真空等離子清洗機(jī)常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機(jī)也會用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。等離子清洗

通入不同的工藝氣體，建議選擇對應(yīng)氣體的專用質(zhì)量流量控制器，以保證輸入氣體的穩(wěn)定和計量；不同的工藝氣體，分子大小不同、化學(xué)特性不同，使用同規(guī)格的質(zhì)量流量控制器會存在流量誤差和安全隱患。如使用的是常規(guī)工藝氣體，也可選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn)，只需保證流量穩(wěn)定即可；但是對于H2、CF4等特殊氣體，易爆易燃具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質(zhì)量流量控制器。

實驗型真空等離子清洗機(jī)機(jī)，通常對流量控制要求不是非常嚴(yán)格，純手動操作的設(shè)備，也會選用手動浮子流量計。

3 其他注意事項

真空等離子清洗機(jī)需保證真空反應(yīng)腔體內(nèi)的壓力穩(wěn)定，所以選擇好氣體流量控制器后，還需注意氣管接頭的挑選。通常我們會選用快擰接頭或卡套接頭作為氣體流量控制器的氣管接頭，以此來滿足工藝氣體真空管路的密封。

真空等離子清洗機(jī)在處理一些特殊材料的時候，可能會把液態(tài)單體作為放電介質(zhì)，就必須使用手動浮子流量計作為流量控制器；對于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計；對真空環(huán)境要求比較苛刻的，建議使用高密封性的浮子流量計。

如需對液態(tài)單體進(jìn)行流量監(jiān)控，也可增加氣液流量計，但需考慮單體的測量元素、沸點、冷凝點等因素，可視情況進(jìn)行選擇。真空等離子清洗機(jī)

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