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真空等離子清洗機(jī)

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深圳市普拉斯瑪自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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自動(dòng)等離子清洗機(jī)

自動(dòng)等離子清洗機(jī)

  • 所屬分類:真空等離子清洗機(jī)

  • 點(diǎn)擊次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2020/11/08
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詳細(xì)介紹

等離子清洗機(jī)  BP-4

自動(dòng)等離子體清洗機(jī)

自動(dòng)等離子清洗機(jī)自動(dòng)等離子清洗機(jī)




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Item

Specification

Remark

制程規(guī)劃

自動(dòng)將產(chǎn)品或載盤,放入腔體中的電極架中,高頻電源系統(tǒng),對(duì)于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產(chǎn)品進(jìn)行真空等離子表面改質(zhì)


傳送方式

自動(dòng)上下料

可放置4-5個(gè)料盒/CT約40秒

腔體

材質(zhì):AL6061


內(nèi)腔容積約20L


強(qiáng)化安全玻璃真空腔體窗口   ,抗紫外線及高頻輻射


真空泵

真空泵萊寶D-60T


制程壓力10~100pa之間


壓力量測(cè)范圍10-3~1   torr


制程氣體

混和氣體:95% Ar+5%H2

氣體用量約:5~40sccm之間

質(zhì)流量控制SEVEN START D70


等離子電源

型式:射頻RF Generator(含自動(dòng)匹配器)


頻率:13.56MHz


功率:0-600Watt


等離子效應(yīng)

載盤(電極)間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子


氣體流場(chǎng)分布

門板前端進(jìn)氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w


有效層流,提升等離子均勻度,由腔體后方排氣


安全聯(lián)鎖

當(dāng)腔體門打開(kāi),真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無(wú)法啟動(dòng)


緊急停止開(kāi)關(guān)EMS

使用鎖定類型緊急停止開(kāi)關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域


控制

PLC+威倫觸摸屏/3級(jí)密碼



項(xiàng)目

規(guī) 格

電  力

相 (Phase)/ 線 (Line)

3相4線

Power supply

電壓(Volt))/ 頻率(Hz)

380 V/ 50Hz


功率(Power)

2.5KVA


Grounding

壓縮空氣 

CDA

破真空用/氣動(dòng)組件需求

(CDA)

壓力 Pressure (kg/cm2)

6


流量 flow rate (LPM)

20


管徑 Pipe dia.(mm)

外徑6mm內(nèi)徑4mm

排   氣

內(nèi)循環(huán)

安裝原廠油氣過(guò)濾與回收套件

Exhaust

管徑 Pipe dia.(inch)

DN40

外型尺寸                   (Outline)

寬*高*深(mm)

約1100*1600*1060(含三色燈)

運(yùn)轉(zhuǎn)重量(kg)

約800 KGW


相關(guān)標(biāo)簽:自動(dòng)等離子清洗機(jī),等離子清洗設(shè)備,真空等離子清洗機(jī)

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